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真空守門人：高效冷阱抑制可凝性蒸汽的機理剖析

ZDM-90VHMDS真空鍍膜機

HMDS真空鍍膜機化學名叫六甲基二硅胺烷（別名六甲基二硅氮烷），真空鍍膜機又稱HMDS基片預處理系統，喆圖真空鍍膜機對箱體內預處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數的控制，可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量，所有工藝都在密閉的環境中進行，沒有HMDS揮發，提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

更新時間：2025-03-06

產品型號：ZDM-90V

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ZDM-125VHMDS真空鍍膜機

HMDS真空鍍膜機化學名叫六甲基二硅胺烷（別名六甲基二硅氮烷），真空鍍膜機又稱基片預處理系統，喆圖真空鍍膜機對箱體內預處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數的控制，可以在硅片、襯底表面完成成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量，所有工藝都在密閉的環境中進行，沒有揮發，提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

更新時間：2025-03-06

產品型號：ZDM-125V

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ZDM-215VHMDS真空鍍膜機

HMDS真空鍍膜機化學名叫六甲基二硅胺烷（別名六甲基二硅氮烷），真空鍍膜機又稱HMDS基片預處理系統，喆圖真空鍍膜機對箱體內預處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數的控制，可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量，所有工藝都在密閉的環境中進行，沒有HMDS揮發，提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料，為基

更新時間：2025-03-06

產品型號：ZDM-215V

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